
文章来源: 更新时间:2025-03-02 17:40:13
没错!不算专业人士,但是思路有,我给你捋一下,***设你要造一台光刻机,需要做什么主线任务? ①EUV光刻机的最核心的护城河是 光学镜头,来自德国蔡司 ②自己造光学镜头的核心是高精度离子束抛光机,来自德国NTG③自己造高精度离子束抛光机需要 可聚焦高能量离子源,来自美国KRI ④自己造可聚焦高能量离子源需要高精可控的高压脉冲电源....⑤高精可控的高压脉冲电源,需要高压微控制器 硬件和控制脉冲的频率、宽度、幅值的算法…。
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